PVD

ULVAC ei-5z系列高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備是一款可同時安裝電子束蒸發(fā)和熱蒸發(fā)源的多功能蒸發(fā)臺,可用于各種金屬、合金、非金屬蒸發(fā)鍍膜,可做垂直入射蒸發(fā)工藝,可做穿墻式設(shè)計,采用全自動控制,穩(wěn)定,高效