【產(chǎn)品簡介】

Centrotherm HORICOO 200 是大量現(xiàn)場驗證及具有超多功能的臥式爐系統(tǒng)，基于客戶需求可靈活選擇大、中批量生產(chǎn)以及研發(fā)類型機(jī)臺。為AP、LP和PECVD等多種工藝應(yīng)用提供了可靠的工藝能力和很高的工藝性能。此外，同一系統(tǒng)不同工藝爐管可以匹配相關(guān)設(shè)施(大氣、真空或混合)配置不同的工藝。

所有的爐管均配備一個綜合的晶舟處理系統(tǒng)，其可以存放多達(dá)8個工藝晶舟，同時也集成有一個晶圓傳輸系統(tǒng)。水冷式加熱器外殼和軟著陸系統(tǒng)設(shè)計能最大限度排除外部環(huán)境影響。且易于維護(hù)，能確保低維護(hù)成本及高的正常運(yùn)行時間。

【適用工藝】

·退火

·擴(kuò)散

·氧化

·低壓化學(xué)氣相沉積

·等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積

【產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)】

·大氣壓加工、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積加工與低壓化學(xué)氣相沉積加工

·能提供任選加工腔方案

·先進(jìn)的水冷卻系統(tǒng)保證不同的工藝爐管之間無熱干擾

·模塊化部件設(shè)計，便于在潔凈室內(nèi)安裝與啟動生產(chǎn)