【產(chǎn)品簡介】

centrotherm OXIDATOR 150是一種高溫爐，是商先創(chuàng)公司熱解決方案為碳化硅（SiC）的氧化專門設計的。

工藝溫度高達1500℃，可使用氧氣（O₂）、一氧化二氮（N₂O）、氧化氮（NO）、二氧化氮（NO₂）或濕法進行氧化，從而使靈活性與業(yè)經(jīng)證明的工藝質(zhì)量完美地結(jié)合。擁有無金屬加熱與雙真空裝備，OXIDATOR 150目前是市場上最安全的可用有毒氣體的氧化爐。

【適用工藝】

·氧化

【產(chǎn)品優(yōu)點】

·2英寸、3英寸、4英寸與6英寸晶圓或任何組合的批量加工

·最高加熱速度達到7.5度/分鐘

·批量多達50片（150毫米）晶圓

·加工壓力范圍從850毫巴到大氣壓