退火爐
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- 服務(wù)時(shí)間: 周一到周五 9:00-18:00
- 地址: 湖北省武漢市洪山區(qū)雄楚大道468號卓刀泉財(cái)富中心2201室
CentroTherm VERTICOO200立式爐
- 產(chǎn)品品牌: 德國 Centrotherm
- 產(chǎn)品產(chǎn)地: 德國
- 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體IC、MEMS微機(jī)電系統(tǒng)、3D封裝、化合物半導(dǎo)體器件、功率器件和光電顯示等
- 產(chǎn)品簡介: Centrotherm VERTICOO 200為高批量生產(chǎn)和產(chǎn)能最大化而設(shè)計(jì)，并具有高度的靈活性，適于所有的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓與低壓化學(xué)氣相沉積工藝
【產(chǎn)品簡介】
Centrotherm VERTICOO 200為高批量生產(chǎn)和產(chǎn)能最大化而設(shè)計(jì)，并具有高度的靈活性，適于所有的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓與低壓化學(xué)氣相沉積工藝。優(yōu)化的單管雙舟傳送系統(tǒng)，使搬運(yùn)時(shí)間縮至最短，同時(shí)降低擁有成本與維修成本。
【適用工藝】
·退火
·氧化
·擴(kuò)散
·LPCVD