探針式輪廓儀

DektakXT探針式輪廓儀
  • 產(chǎn)品品牌: 布魯克 Bruker
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 德國
  • 應用領域: 微電子、半導體、太陽能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學行業(yè)的關鍵尺寸的納米級表面測量提供支持
  • 產(chǎn)品簡介: 探針式輪廓儀(臺階儀)的行業(yè)金標準

DektakXT®探針式輪廓儀采用革命性的臺式設計,可實現(xiàn) 4? 0.4nm) 的無與倫比的重復性,掃描速度可提高 40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是 Dektak® 五十多年創(chuàng)新和行業(yè)領導地位的頂峰。DektakXT 結合了行業(yè)第一的技術和設計,可提供極致的性能、易用性以及價值,實現(xiàn)從研發(fā)到質(zhì)量控制的更好過程監(jiān)控。DektakXT 的技術突破為微電子、半導體、太陽能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學行業(yè)的關鍵尺寸的納米級表面測量提供支持。

1)臺階高度重復性4 ?

*單拱龍門式設計實現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性

*先進的智能化電子器件實現(xiàn)了低噪聲的新標 準新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%

*64位 的Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件,將數(shù)據(jù) 分析速度提高十倍。

2)功能卓越,操作簡易

*直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行

*自對準式探針設計使得更換探針的步驟簡便易行

3)探針輪廓儀業(yè)界翹楚,無可匹敵的價值

* 性能優(yōu)異, 物超所值

*獨特的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量

臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三方面: 測量重復性, 測試速度和操作難易程度,這些因素決定了實驗數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實驗操作的效率。DektakXT采用全新的儀器系統(tǒng)構造和最優(yōu)化的測量及數(shù)據(jù)處理軟件來實現(xiàn)可靠、快速和簡易的樣品檢測,達到最佳的儀器使用效果。

4)提高操作的可重復性

DektakXT 的多處領先設計保證了其無人能及的表現(xiàn), 達到優(yōu)于 5 埃的測量重復性. 使用單拱龍門結構比原先的懸臂梁設計更堅硬持久不易彎曲損壞,而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。同時,Bruker 完善了儀器的智能化電子器件,提高了其工作性能的穩(wěn)定性,降低溫度變化對器件的影響,并且采用最先進的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用智能敏化電子器件,會把

系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測量誤差降到最低。因此采用DektakXT 測量系統(tǒng),能夠更穩(wěn)定可靠地掃描高度小于10nm 的臺階,獲得其形貌特征。單拱龍門結構和智能器件的聯(lián)用,大大降低了基底噪音,增強了穩(wěn)定性,使其成為一個極具競爭力的表面輪廓儀。

5)提高測量和數(shù)據(jù)分析速度

首次采用獨特高速的直接驅(qū)動掃描樣品臺, DektakXT 在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大縮短了每次掃描的間隔時間。這一改進,提高了進行大范圍 3D 形貌表征或者表面長程應力掃描的掃描速度。在保證質(zhì)量和重復性的前提下,可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高 40%。另外DektakXT 采用 Bruker 具有 64 位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64,它可以提高大范圍 3D 形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫分析的速度。Vision64 還具有最有效直觀的用戶界面,簡化了實驗操作設置,可以自動完成多掃描模式,使很多枯燥繁復的實驗操作變得更快速簡潔。

6)簡便易行的實驗操作系統(tǒng)

為了便于操作可供多用戶使用的系統(tǒng),一個必要條件就是能夠迅速簡便地更換不同模式所需要的探針。DektakXT新穎的探針和部件自動對準裝置,可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現(xiàn)針尖損傷等意外。這一改進使原來費時耗力的實驗步驟變得簡便易行。為盡可能滿足所有應用的需求,布魯克提供各種尺寸的標準探針和特制探針,其中包括專為深槽測量定制的高深寬比的探針。

7)完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

DektakXT的創(chuàng)新性設計相得益彰的配置是BrukerVision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上最實用簡潔的用戶界面,具備智能板塊,可視化的使用流程,以及各種參數(shù)的自助設定以滿足用戶的各種使用要求,快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。簡明的測量窗口集參數(shù)設定與硬件控制于一體,極富邏輯性,既可使不常使用儀器者輕松回憶起如何操作,又可使操作老手不至于為過多的基本重復步驟而煩惱或分心。

數(shù)據(jù)獲取后,軟件的自動調(diào)平,臺階識別分析,以及數(shù)據(jù)分析模塊的各種濾波功能等使得分析簡便快捷。使用數(shù)據(jù)分析模塊,不論是通過一個程式來處理單次掃描結果的標準分析,還是嘗試使用多種濾波設置和計算,使用者都可以清晰地看到數(shù)據(jù)處理結果以及其他可用的分析手段。

 


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1)DektakXT 的 64 位并行處理 Vision64 在更短的時間里完成并處理大型 3D 數(shù)據(jù)文件

2)Dektak XT的掃描探針可實現(xiàn)同時大垂直范圍和低力掃描

3)DektakXT 的 Vision64 顯著簡化并加快了操作和數(shù)據(jù)分析


4)DektakXT 具有最快、最簡單的換針流程??商峁└鞣N探針,以滿足最廣泛的應用

5)DektakXT 對復合電路板進行3D掃描