Dimension Edge?原子力顯微鏡采用布魯克專利的PeakForce Tapping ® 技術(shù)，提供同類產(chǎn)品中，高水平的原子力顯微鏡 （AFM） 性能、功能和配件?；?Dimension Icon 平臺開發(fā)，Dimension Edge系統(tǒng)的設(shè)計(jì)具有低漂移、低噪音的特點(diǎn)，大大提高了數(shù)據(jù)獲取速度和可靠性，使用這臺全新的儀器，幾分鐘時間即可獲得高質(zhì)量、可發(fā)表的專業(yè)數(shù)據(jù)。另外，其集成的可視化反饋和預(yù)配置設(shè)置，使其如專家現(xiàn)場操作一樣，簡單方便，測量結(jié)果高度一致。Dimension Edge最先進(jìn)的大樣品 AFM 功能和技術(shù)可為每個用戶的多種應(yīng)用環(huán)境提供選擇。

一、亮點(diǎn)

1) 模塊化------顯微鏡和電子系統(tǒng)

以中等成本提供高圖像保真度和研究靈活性。

2) 內(nèi)置------訪問信號通路

支持自定義測量和擴(kuò)展功能。

3) 集成------大樣品臺控制系統(tǒng)

提供快速的樣品測量定位導(dǎo)航和高效的多點(diǎn)位測量。

二、特點(diǎn)

1）特征------閉環(huán)精度

該系統(tǒng)的核心配件是布魯克著名的閉環(huán)掃描器。該掃描器采用溫度補(bǔ)償位置傳感器，由模塊化設(shè)計(jì)的低噪聲控制電子器件驅(qū)動，可將探針掃描的閉環(huán)噪聲級別降低至單個化學(xué)鍵長度的量級。

2) 大樣品平臺

Dimension Edge 樣品臺不僅由馬達(dá)控制，可進(jìn)行編程實(shí)現(xiàn)高效多點(diǎn)測量，還允許您直接在 AFM 掃描器下同時放置更多類型的樣品，減少樣品放置時間。探針-樣品交匯處的物理開放性，使您能夠更直接地觀察樣品器件的幾何結(jié)構(gòu)，以及器件的電氣連接或放置其他定制的實(shí)驗(yàn)附件。

3) 自動成像優(yōu)化

Dimension Edge 采樣階段不僅可進(jìn)行電動和可編程，可進(jìn)行高效的多點(diǎn)測量，還允許您直接在 AFM 掃描儀下安裝更多類型的樣品，同時使用更少的制備時間。對探針-樣品交匯點(diǎn)的物理開放訪問能夠更直接地調(diào)查具有幾何挑戰(zhàn)性的器件結(jié)構(gòu)，以及電氣連接或其他定制實(shí)驗(yàn)附件的附件的附件。

三、應(yīng)用

AFM 模式------用AFM拓展您的應(yīng)用

憑借一整套出色的AFM成像模式，布魯克能為您每項(xiàng)研究提供適用的 AFM 技術(shù)。

基于核心成像模式（接觸模式和輕敲模式），布魯克提供的全套 AFM測試模式，允許用戶探測樣品的電學(xué)、磁性等豐富性能。布魯克獨(dú)創(chuàng)的全新的峰值力輕敲技術(shù)作為一種新的核心成像模式，已被應(yīng)用到多種測量模式中，能同時提供形貌、電學(xué)和力學(xué)性能數(shù)據(jù)。

四、Dimension Edge數(shù)據(jù)示例

1）Kerf結(jié)構(gòu)的閉環(huán)形貌圖,顯示雙嵌入式結(jié)構(gòu)中的內(nèi)接觸孔。Dimension掃描器和布魯克FIB探針的配合使用,能對此具有挑戰(zhàn)性的幾何結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像,且不會損壞探針。

2）使用Dark Lift SCM對SRAM樣品進(jìn)行精確的2D摻雜分析。圖像大小15um.

3）Dimension Edge高性能AFM能夠觀察小麥谷物成分中生物聚合物的納米級結(jié)構(gòu),從而更好地了解其結(jié)構(gòu)與谷物產(chǎn)品宏觀特性的關(guān)系。圖像大小90 um.

4）聚合物刷的智能成像模式(ScanAsyst)掃描圖像。圖像大小200nm

5）HOPG上C36H74烷的閉環(huán)相位圖像。清晰可見的片層結(jié)構(gòu)間距,與C36H74鏈的長度間距(±4.5nm)一致。圖像大小130nm

6）閉環(huán)相位圖像。顯示了聚(苯乙烯b-丁二烯b-苯乙烯)三聚體中的微相分離。圖像大小為2um。

7）緩沖溶液中DNA的原位智能模式(ScanAsyst)掃描圖像。圖像大小500nm。

8）Dimension Edge提供一整套納米機(jī)力學(xué)性能和電學(xué)模式:相位成像、力譜、壓電響應(yīng)力顯微鏡、導(dǎo)電AFM和開爾文探針力顯微鏡等。結(jié)合獨(dú)特的設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)最高空間分辨率及原子分辨率成像。

9）Dimension Edge提供全套電學(xué)模式:利用布魯克的專利Lift Mode,實(shí)現(xiàn)電場梯度成像的EFM,靈敏的功函數(shù)測量的KPFM,無假象導(dǎo)電圖測量的Dark lift CAFM模式等。

10）接觸模式云母晶格原子像。圖像大小1.5nm。

11）圖案藍(lán)寶石底板 (PSS)是LED制造商用于提高光輸出和整體設(shè)備效率的一種技術(shù)。PSS是一種藍(lán)寶石晶圓，其周期圖案已刻在其中。圖案的形狀各不相同,但以圓錐形、半球形、金字塔形或其他類似結(jié)構(gòu)為主。這些結(jié)構(gòu)可用于改變發(fā)射光子的角度,減少總內(nèi)部反射，從而提高效率。Edge-PSS AFM可提供控制PSS制程計(jì)量,包括特征高度、寬度和角度測量,同時提供完整的3D輪廓。Edge-PSS能滿足PSS供應(yīng)商和LED制造商縮小結(jié)構(gòu)尺寸、提高產(chǎn)品效率的需求。