鍵合測試

EVG 20檢測系統(tǒng)
  • 產品品牌: 奧地利 EVG
  • 產品產地: 奧地利
  • 應用領域:
  • 產品簡介: EVG 20是一款紅外快速檢測系統(tǒng),主要用于檢測鍵合空洞,是熔融鍵合設備的合適搭檔


產品簡介:

EVG 20是一款紅外快速檢測系統(tǒng),主要用于檢測鍵合空洞,是熔融鍵合設備的合適搭檔。

主要特點及參數:

·動態(tài)成像

·整個晶圓檢查

·最小可檢測出0.5mm的空洞

·可作為單獨的設備使用也可集成于EVG的大型工藝平臺中