鍵合測試
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EVG 20檢測系統(tǒng)
- 產品品牌: 奧地利 EVG
- 產品產地: 奧地利
- 應用領域:
- 產品簡介: EVG 20是一款紅外快速檢測系統(tǒng),主要用于檢測鍵合空洞,是熔融鍵合設備的合適搭檔
產品簡介:
EVG 20是一款紅外快速檢測系統(tǒng),主要用于檢測鍵合空洞,是熔融鍵合設備的合適搭檔。
主要特點及參數:
·動態(tài)成像
·整個晶圓檢查
·最小可檢測出0.5mm的空洞
·可作為單獨的設備使用也可集成于EVG的大型工藝平臺中