光刻測試

EVG 40NT檢測系統(tǒng)
  • 產(chǎn)品品牌: 奧地利 EVG
  • 產(chǎn)品產(chǎn)地: 奧地利
  • 應用領域:
  • 產(chǎn)品簡介: EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸測量和鍵合對準測量的設備，具有級高的精度，可作為EVG GEMINI FB中100nm鍵合精度的驗證工具

產(chǎn)品簡介：

EVG 40NT是一款主要用于CD尺寸測量和鍵合對準測量的設備，具有級高的精度，可作為EVG GEMINI FB中100nm鍵合精度的驗證工具。

主要特點及參數(shù)：

·自上而下的顯微鏡流型測量

·對準精度測量

·CD尺寸測量

·多層厚度測量

·可作為單獨的設備使用也可集成于EVG的大型工藝平臺中