鍵合對(duì)準(zhǔn)
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- 服務(wù)時(shí)間: 周一到周五 9:00-18:00
- 地址: 湖北省武漢市洪山區(qū)雄楚大道468號(hào)卓刀泉財(cái)富中心2201室
EVG 610BA對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
- 產(chǎn)品品牌: 奧地利 EVG
- 產(chǎn)品產(chǎn)地: 奧地利
- 應(yīng)用領(lǐng)域:
- 產(chǎn)品簡(jiǎn)介: EVG 610BA是一款手動(dòng)研發(fā)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，適合于EVG501、EVG510鍵合機(jī)的鍵合對(duì)準(zhǔn)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
EVG 610BA是一款手動(dòng)研發(fā)型鍵合對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，采用雙面光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，適合于EVG501、EVG510鍵合機(jī)的鍵合對(duì)準(zhǔn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·最大支持6英寸（150mm）晶圓
·對(duì)準(zhǔn)精度：
底部對(duì)準(zhǔn)精度≤±2μm 3σ
透明對(duì)準(zhǔn)精度≤±1μm 3σ
·可選配紅外對(duì)準(zhǔn)