產(chǎn)品簡介：

EVG GEMINI FB是一款全自動(dòng)具備高精度對準(zhǔn)和熔融鍵合的工藝平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動(dòng)化，主要應(yīng)用于存儲(chǔ)器堆疊、BSI圖像傳感器、SoC等領(lǐng)域的大型量產(chǎn)。

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·最大支持12英寸（300mm）晶圓

·最多配置6個(gè)預(yù)處理模塊，例如清洗模塊、低溫等離子處理模塊、對準(zhǔn)驗(yàn)證模塊、解鍵合模塊等。

·采用SmartView NT3對準(zhǔn)技術(shù)，最高對準(zhǔn)精度＜50nm