一、亮點(diǎn)

1）1nm------空間分辨率

SEM 中的納米級(jí)分辨率

2）>1.1sr------最高固體角

固體角代表探測(cè)器采集樣品產(chǎn)生的 X 射線的幾何收集效率

3）2,400kcps------高通量

比傳統(tǒng)的 EDS 探測(cè)器快 4 倍

4）QUANTAX FlatQUAD - 突破傳統(tǒng) SDD 的極限

QUANTAX FlatQUAD 是基于革命性 XFlash® FlatQUAD 的 EDS 分析系統(tǒng)。這種環(huán)形四通道硅漂移探測(cè)器實(shí)驗(yàn)時(shí)位于SEM極靴和樣品之間，在EDS測(cè)試中實(shí)現(xiàn)最大固體角。QUANTAX FlatQUAD 與 ESPRIT 分析軟件套件相結(jié)合，即使是對(duì)于最困難的EDS樣品，可以提供無與倫比的面分析性能。

a）僅使用中等電流就可以進(jìn)行極快的面分析表征

b）可以在極低電流(<10pA)下對(duì)束流敏感材料進(jìn)行分析，例如生物或半導(dǎo)體樣品

c）對(duì)具有粗糙表面的樣品進(jìn)行表征，有效避免陰影效應(yīng)

d）低kV 和高放大倍率下的納米顆粒和納米結(jié)構(gòu)分析

e）SEM 中測(cè)量薄樣品（如 TEM 薄片）和其他 X 射線產(chǎn)量低的樣品的最佳選擇

二、優(yōu)勢(shì)

最大限度地提高您的效率

a） Bruker XFlash® FlatQUAD 探測(cè)器獨(dú)特的環(huán)形設(shè)計(jì)以及它在 SEM 極片和樣品之間的位置，可帶來無與倫比的固體角，直接對(duì)應(yīng)為更快的測(cè)量速度。QUANTAX FlatQUAD 與 ESPRIT 軟件套件一起，提供理想的儀器軟硬件，用于分析最低電流才穩(wěn)定的敏感樣品或極為粗糙的樣品。

b） XFlash® FlatQUAD還可以將您的 SEM 或 FIB 轉(zhuǎn)換為低電壓的 STEM，以更及時(shí)、更經(jīng)濟(jì)高效的方式實(shí)現(xiàn)最高的空間和光譜分辨率。

c） 如果要從電子透明樣品中獲得更多信息，比如晶體學(xué)信息，可以請(qǐng)將 XFlash® FlatQUAD與布魯克 EBSD 改裝的 TKD 探測(cè)器結(jié)合使用。

三、相關(guān)應(yīng)用圖片