一、亮點(diǎn)

高分辨率、高靈敏度和低檢測限制

1）~ 4eV------Si-Kα 的 FWHM

超過 EDS 能量分辨率一個(gè)數(shù)量級(jí)的卓越能量分辨率

2）< 100ppm------許多元素的檢測限

痕量元素分析的高精度和高準(zhǔn)確性

3）> 900cps/nA------80 ? 厚多層結(jié)構(gòu)中 C-Kα 的計(jì)數(shù)率

低能量 X 射線的高靈敏度

4）補(bǔ)充您的 SEM：使用電子探頭微分析儀的好處

a）用于 SEM 的 QUANTAX WDS由 XSense 波長分散光譜儀組成，在所有平行光束 WDS 系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)最佳分辨率。與基于羅蘭圓的 WDS 光譜儀相比，QUANTAX WDS 由于平行光束設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)大固體角采集，為低能 X 射線提供更高的信號(hào)強(qiáng)度

b）WDS 通過抑制背底輻射的獨(dú)特二次光學(xué)器件進(jìn)一步增強(qiáng)信噪比

c）QUANTAX WDS 配備最好的掠入角光學(xué)元件和多達(dá)六個(gè)分析晶體，對 70 eV 以上的低能量 X 射線具有卓越的靈敏度

d）巧妙的自動(dòng)光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)和獨(dú)特的壓力控制比例計(jì)數(shù)器可確保準(zhǔn)確且可重復(fù)的結(jié)果

e）靈活適應(yīng) WDS 或 EDS 端口

二、優(yōu)勢：

SEM 上的 WDS – 滿足苛刻分析應(yīng)用的完美解決方案

a）解決常見的 EDS 峰值重疊，如 Ta-W-Si、Pb-S 或 Mo-S

b）探索感興趣的元素的低能 X 射線線系（L、M、N）

c）研究低加速電壓的樣品，確保電子束穿透深度最小

d）獲得最高的cps/nA，因?yàn)楦吖腆w角使輕元素在整個(gè)濃度范圍內(nèi)從 Be 到 F 進(jìn)行表征

e）得到遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于 EDS 檢測限值的痕量元素濃度

f）可以在低真空下測量，無需導(dǎo)電涂層

g）使用獨(dú)特的壓力控制比例計(jì)數(shù)器，節(jié)省分析測量時(shí)間

h）確保光譜數(shù)據(jù)的空間精度，進(jìn)行精確定量

i）通過同時(shí)進(jìn)行 WDS 和 EDS 分析，將每個(gè)探測器的優(yōu)勢整合到組合定量中，節(jié)省采集時(shí)間

三、相關(guān)應(yīng)用圖片