摻雜工藝

Centrotherm VERTICOO 200為高批量生產(chǎn)和產(chǎn)能最大化而設計,并具有高度的靈活性,適于所有的標準大氣壓與低壓化學氣相沉積工藝
Centrotherm HORICOO 300臥式批處理系統(tǒng)是世界上首先用于先進的高產(chǎn)能的 300 mm晶圓加工平臺。